派瑞林是聚對(duì)二甲苯的商品名。在美國聯(lián)碳公司使用沉積工藝制備薄膜后，派瑞林涂層被首先應(yīng)用于軍工及航天航空領(lǐng)域。此后，派瑞林涂層相繼被應(yīng)用于派瑞林涂層磁體在內(nèi)的不同領(lǐng)域。最常用的派瑞林涂層主要為Parylene C和Parylene N兩個(gè)類型。

派瑞林涂層化學(xué)氣相沉積過程

1. 固態(tài)對(duì)二甲苯二聚體在120℃的真空環(huán)境下升華為氣相；

2. 氣相對(duì)二甲苯二聚體在650℃的溫度下進(jìn)一步裂解為活性單體；

3. 活性單體進(jìn)入沉積室后沉積于被沉積物體表面并互相聚合。

派瑞林涂層磁體的優(yōu)點(diǎn)

• 不同于其他表面處理工藝，派瑞林涂層非常適于小尺寸磁體及微型磁體；
• 派瑞林涂層磁體表面無針孔；
• 派瑞林涂層在高溫下具有出色地穩(wěn)定性；
• 派瑞林涂層具有很好的防水性能。
• 派瑞林不僅是一種耐化學(xué)腐蝕涂層，還是一種可以應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域的生物相容性涂層。